特許

J-GLOBAL ID：200903046450047703

基板の周縁露光装置

発明者： 中島 正夫 ,  内藤 雅喜
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-060419
公開番号（公開出願番号）：特開平6-275516
出願日： 1993年03月19日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：

【要約】【目的】 必要な箇所でのみ露光幅が目標値に維持されるように露光光束と基板周縁部との相対位置を制御できる周縁露光装置を提供する。【構成】 基板1の周縁の露光幅が目標値Mに維持されるように基板101と露光光束100との相対回転に対する半径方向の相対位置を制御する相対位置制御手段102を備えた基板の周縁露光装置において、露光に先立ち基板101の周縁形状に対応した外形情報を検出する外形情報検出手段103と、検出された外形情報に基づいて基板101の周縁上の露光幅維持不要領域を検出する不要領域検出手段104と、露光光束100が露光幅維持不要領域に位置するとき、露光幅の目標値Mからのずれ量に対する相対位置の制御量が圧縮されるように相対位置制御手段102の制御特性を変更する制御特性変更手段105とを設ける。

請求項（抜粋）：

露光光束と基板とを当該基板の周縁に沿って相対回転させて露光する際に、前記基板の周縁の露光幅が目標値に維持されるように前記基板と前記露光光束との前記相対回転に対する半径方向の相対位置を制御する相対位置制御手段を備えた基板の周縁露光装置において、前記露光に先立って、前記基板の周縁形状に対応した外形情報を検出する外形情報検出手段と、検出された外形情報に基づいて前記基板の周縁上の露光幅維持不要領域を検出する不要領域検出手段と、前記露光光束が前記露光幅維持不要領域に位置するとき、前記露光幅の目標値からのずれ量に対する前記相対位置の制御量が圧縮されるように前記相対位置制御手段の制御特性を変更する制御特性変更手段と、を備えることを特徴とする基板の周縁露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ノッチ付ウエハの周辺部露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-048091   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 特開平4-072614
  
• 特開平4-065116
  
• 特開平3-011726