タイミング校正機能を具備した半導体デバイス試験装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：草野卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-349218
公開番号（公開出願番号）：特開2002-156414
出願日： 2000年11月16日
公開日（公表日）： 2002年05月31日
要約：

【要約】【課題】同期信号に同期して被測定信号の立上り又は立下りのタイミングを計測し、被測定信号の位相が基準タイミングに対して進みか遅れかを判定するタイミング測定方法において、同期信号発生器を設け、この同期信号発生器により半導体デバイス試験装置に同期信号発生機能が無くてもキャリブレーションを行うことができるようにした。【解決手段】キャリブレーションの開始前に半導体デバイス試験装置の動作を安定化するためのダミーサイクルを発生させるダミーサイクル発生器10と、比較動作の繰返し同期を発生させる繰返し周期発生器20と、アナログ比較器における比較実行回数を発生する比較回数発生器30とによって同期信号を発生する同期信号発生器を構成し、この同期信号発生器を付加することにより如何なる機種の半導体デバイス試験装置にもキャリブレーション機能を付与する。

請求項（抜粋）：

試験パターン信号供給系路を通過する校正信号の位相を捕らえるアナログ比較器と、試験パターン信号供給系路を通過する校正信号に同期して上記アナログ比較器の比較結果を取り出す同期化回路と、この同期化回路で取り出した比較結果を計数するカウンタとを具備し、上記試験パターン信号供給系路に設けた可変遅延回路の遅延時間を調整して上記カウンタの計数値が上記アナログ比較器の総比較回数のほぼ1/2の数値に収束した状態で上記校正信号の位相が上記アナログ比較器の比較タイミングに合致したと判定し、上記試験パターン信号供給系路の伝搬遅延時間を校正するタイミング校正機能を装備した半導体デバイス試験装置において、上記同期化回路に与える同期信号をダミーサイクル発生器と、繰り返し周期発生器と、上記アナログ比較器の比較回数を発生する比較回数発生器と、によって構成した同期信号発生器によって発生させる構成としたことを特徴とするタイミング校正機能を装備した半導体デバイス試験装置。

IPC (3件)：

G01R 31/28 , G01R 31/319 , G01R 35/00

FI (4件)：

G01R 35/00 L , G01R 31/28 P , G01R 31/28 M , G01R 31/28 R

Fターム (10件)：

2G032AA00 , 2G032AD06 , 2G032AE06 , 2G032AE08 , 2G032AE10 , 2G032AE14 , 2G032AG01 , 2G032AG07 , 2G032AH07 , 2G032AL00

引用特許：

審査官引用 (11件)

半導体試験装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-130827 出願人：株式会社アドバンテスト
特開平3-200081
特開昭55-028118

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