特許
J-GLOBAL ID：200903046487758405

インクジェット式記録ヘッドおよびその製造方法

発明者：
大脇 寛成

大脇 寛成 について

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水野 隆吉

水野 隆吉 について

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新保 俊尚

新保 俊尚 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-253478
公開番号（公開出願番号）：特開2003-062991
出願日： 2001年08月23日
公開日（公表日）： 2003年03月05日
要約：
【要約】【課題】プラズマ処理のような真空中で行なう工程があっても流路ユニットの破壊を防止しうるインクジェット式記録ヘッドを提供する。【解決手段】ノズル11が穿設されたノズルプレート16と、上記ノズル11に連通する圧力発生室12ならびに上記圧力発生室12に供給されるインクを貯留するインク貯留室17が形成された流路形成板19と、上記圧力発生室12の開口を塞ぐ振動板20とを含む流路ユニット13と、上記圧力発生室12に圧力変動を与える圧電振動子14とを備え、上記流路ユニット13がプラズマ処理を施されたものであり、上記流路形成板19に形成された肉抜き部42を外部に連通させる外部連通穴43を形成したことにより、流路ユニット13を真空中でプラズマ処理しても肉抜き部42内の空気が外部に逃げて流路ユニット13の破壊が防止される。
請求項（抜粋）：
ノズル開口が穿設されたノズルプレートと、上記ノズル開口に連通する圧力発生室ならびに上記圧力発生室に供給されるインクを貯留するインク貯留室が形成された流路形成部と、上記圧力発生室の開口を塞ぐ封止板とを含む流路ユニットと、上記圧力発生室に圧力変動を与える圧力発生素子とを備え、上記流路ユニットがプラズマ処理を施されたものであり、上記流路ユニットに密閉空間をなくすよう流路ユニット内の空間を外部に連通させる外部連通穴が形成されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16
FI (2件)：
B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H
Fターム (10件)：
2C057AF93 ,  2C057AG14 ,  2C057AG75 ,  2C057AP02 ,  2C057AP25 ,  2C057AP59 ,  2C057AQ02 ,  2C057AQ06 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14
引用特許：
審査官引用 (4件)
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