特許
J-GLOBAL ID:200903046489738487

走査光学系ビーム測定装置及びビーム測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 園田 敏雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-380164
公開番号(公開出願番号):特開2003-177343
出願日: 2001年12月13日
公開日(公表日): 2003年06月27日
要約:
【要約】【課題】走査光学系ビーム測定装置について、CCDを搭載した主走査ステージをステップ送りすることなく速度変動を抑え、一定速度で駆動しながら走査ビームを測定することで、所望の走査ビームを確実且つ短時間に測定できるようにすること。【解決手段】走査光学系を有する画像形成装置の走査ビームを測定するための走査光学系ビーム測定装置について、走査ビームを検出する光検出手段と、光検出手段を保持し且つ主走査方向に駆動する手段と、該主走査駆動手段の位置を検出する手段と、該走査ビームの同期検知手段と、該同期検知手段から出力される同期信号に基づいて該光検出手段の露光タイミングを制御する手段と、該走査ビームの形状や位置、ビーム間距離等のビームプロファイルを算出する画像演算手段とを設け、上記主走査駆動手段を、上記光検出手段を定速で走査する速度制御手段によって制御するようにしたこと。
請求項(抜粋):
走査光学系を有する画像形成装置の走査ビームを測定するための走査光学系ビーム測定装置において、走査ビームを検出する光検出手段と、光検出手段を保持し且つ主走査方向に駆動する手段と、該主走査駆動手段の位置を検出する手段と、該走査ビームの同期検知手段と、該同期検知手段から出力される同期信号に基づいて該光検出手段の露光タイミングを制御する手段と、該走査ビームの形状や位置、ビーム間距離等のビームプロファイルを算出する画像演算手段とを有し、上記主走査駆動手段が、上記光検出手段を定速で走査する速度制御手段によって制御されるものであることを特徴とする走査光学系ビーム測定装置。
IPC (4件):
G02B 26/10 ,  B41J 2/44 ,  G01J 1/42 ,  G01M 11/00
FI (6件):
G02B 26/10 D ,  G02B 26/10 A ,  G02B 26/10 F ,  G01J 1/42 E ,  G01M 11/00 T ,  B41J 3/00 D
Fターム (27件):
2C362AA20 ,  2C362AA53 ,  2C362BA04 ,  2C362BB29 ,  2G065AA04 ,  2G065AA11 ,  2G065AA18 ,  2G065AB09 ,  2G065AB28 ,  2G065BA04 ,  2G065BB49 ,  2G065BC04 ,  2G065BC11 ,  2G065BC13 ,  2G065BC16 ,  2G065BC22 ,  2G065BC23 ,  2G065BC33 ,  2G065BC35 ,  2G065CA30 ,  2G065DA05 ,  2G065DA17 ,  2G086EE03 ,  2H045AA03 ,  2H045AA53 ,  2H045CA88 ,  2H045DA41
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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