特許
J-GLOBAL ID：200903046530791047

露光装置及び基板搬入出装置

発明者：
山津 康義

山津 康義 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-283151
公開番号（公開出願番号）：特開2003-092327
出願日： 2001年09月18日
公開日（公表日）： 2003年03月28日
要約：
【要約】【課題】 ランニングコストの低減を図る。【解決手段】 ロードロック室3を持ち、該ロードロック室3経由でコータデベロッパ2との間で基板7の搬入出を行う露光装置1であって、バルブ18を通してロードロック室3内にパージガスを充填させ任意の環境に設定することができる環境制御装置10と、充填されたパージガスを回収するガス回収装置11と、回収されたパージガスを保管するガスタンク13とを備え、パージガスで充填されたロードロック室3を大気解放する前に、バルブ19を通して該ロードロック室3内のパージガスをガス回収装置11で回収し、更にガスタンク13に保管し、次回の基板搬入出時に、パージガスとして再利用する。
請求項（抜粋）：
ロードロック室を持ち、該ロードロック室経由で外部機器及び人間のどちらかとの間で基板の搬入出を行う露光装置において、前記ロードロック室内にパージガスを充填させる機構と、充填されたパージガスを回収する機構と、回収されたパージガスを保管する機構とを備え、パージガスで充填された前記ロードロック室を大気解放する前に、該ロードロック室内のパージガスを回収し、更に保管し、次回の基板搬入出時に、パージガスとして再利用することを特徴とする露光装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68 ,  B65G 49/00 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
H01L 21/68 A ,  B65G 49/00 A ,  B65G 49/07 C ,  H01L 21/30 502 G ,  H01L 21/30 503 E
Fターム (16件)：
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031FA01 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26 ,  5F031MA27 ,  5F031NA07 ,  5F031NA09 ,  5F031NA20 ,  5F046AA21 ,  5F046AA28 ,  5F046CD01 ,  5F046CD02
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM