特許
J-GLOBAL ID：200903046545067051
耐食性セラミック部材
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-227041
公開番号（公開出願番号）：特開平10-067554
出願日： 1996年08月28日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：
【要約】【課題】アルミナ、AlNの焼結体は、耐食性部材としてあらゆる形状品に適用できるが、高温でプラズマと接すると腐食が徐々に進行して、しまいには焼結体の表面からアルミナやAlNの結晶粒子の脱粒が生じ、パーティクル発生の原因になるという問題があった。【解決手段】ハロゲン系腐食ガス或いはそのプラズマに曝される部位を、周期律表第2a、3a、3b族元素のうちの少なくとも1種を含む化合物からなる主結晶相と、周期律表第2a、3a族、Cr、CoおよびNiのうちの少なくとも1種を主体とする化合物からなる粒界相を具備するセラミック焼結体により構成しする。
請求項（抜粋）：
ハロゲン系腐食ガス或いはそのプラズマに曝される部位を、周期律表第2a、3a、3b族元素のうちの少なくとも1種を含む化合物からなる主結晶相と、周期律表第2a、3a族、Cr、CoおよびNiのうちの少なくとも1種を主体とする化合物からなる粒界相を具備するセラミック焼結体により構成したことを特徴とする耐食性セラミック部材。
引用特許：
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