パーティクルサンプラ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺正康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-162902
公開番号（公開出願番号）：特開平10-010017
出願日： 1996年06月24日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】【課題】ウエハ上やガラス基板上のゴミを解析するパーティクルサンプラを提供する。【解決手段】被測定体の上に付着したパーティクルを吸引ノズルによって吸引し、吸引したパーティクルをフィルタに捕集するパーティクルサンプラにおいて、被測定体を搭載して回転する回転ステージと、吸引ノズルの先端と被測定体の表面との距離を一定に保つギャップ制御機構と、ノズルの先端と被測定体を相対的に直線状に移動させる移動手段とを設け、回転ステージと移動手段とによって、被測定体に付着したパーティクルを捕集することを特徴としている。

請求項（抜粋）：

被測定体の上に付着したパーティクルを吸引ノズルによって吸引し、吸引したパーティクルをフィルタに捕集するパーティクルサンプラにおいて、前記被測定体を搭載して回転する回転ステージと、前記吸引ノズルの先端と前記被測定体の表面との距離を一定に保つギャップ制御機構と、前記ノズルの先端と前記被測定体を相対的に直線状に移動させる移動手段とを設け、前記回転ステージと前記移動手段とによって、前記被測定体に付着したパーティクルを捕集することを特徴としたパーティクルサンプラ。

IPC (3件)：

G01N 1/02 , G01N 15/00 , G01N 27/62

FI (4件)：

G01N 1/02 A , G01N 1/02 D , G01N 15/00 C , G01N 27/62 B

引用特許：

審査官引用 (6件)

付着物検査装置および付着物検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-244844 出願人：菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社, 三菱電機株式会社
特開平4-166746
特開平4-068527

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