特許
J-GLOBAL ID：200903046581987574
エッチング時間設定方法及びエッチング装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-338201
公開番号（公開出願番号）：特開平9-162175
出願日： 1995年12月01日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】【課題】本発明は発光スペクトル強度変化が小さい場合にもオーバーエッチングを含めたエッチング時間を適切に設定できるエッチング時間設定方法及びエッチング装置を提供する。【解決手段】エッチャー制御部5によりエッチング室2内の材料7のエッチング処理を開始すると、エッチング処理時に発生するプラズマ発光8を発光強度検出部3により検出して、発光スペクトル強度信号として信号処理部4に出力し、信号処理部4は、エッチング処理を開始したときからの処理時間とこの発光スペクトル強度信号から実作業関数g(t)を決定し、実作業関数g(t)と時間軸及び発光スペクトル強度軸が伸縮した関係にある基準関数f(t)を評価関数h(n)により比較演算して、伸縮係数を算出する。当該伸縮係数に基づいて、基準関数f(t) のオーバーエッチングを含めたエッチング時間に対応する実作業関数g(t)のエッチング時間を決定し、エッチング処理を行う。
請求項（抜粋）：
所定の材料をエッチングする際の発光スペクトルの強度変化に基づいて、エッチング終点を検出して、オーバーエッチングを含めたエッチング時間を設定するエッチング時間設定方法において、前記材料における前記オーバーエッチングを含むエッチング時間と発光スペクトル強度との模範的な関係を示す基準関数を設定するとともに、実際に前記材料をエッチングする際の前記オーバーエッチングを含むエッチング時間と発光スペクトル強度との関係を示す実作業関数を前記基準関数と比較するための所定の評価関数を設定し、実際に前記材料のエッチングを行っている際に、前記発光スペクトル強度を検出して、当該検出した発光スペクトル強度とエッチング処理時間の示す実作業関数を、前記評価関数を用いて前記基準関数とすることにより、前記実作業関数と前記基準関数の対応関係を判別して、当該実作業関数の示すオーバーエッチングを含む前記エッチング時間を設定することを特徴とするエッチング時間設定方法。
IPC (3件)：
H01L 21/3065
, C23F 4/00
, H01L 21/66
H01L 21/302 E
, C23F 4/00 F
, H01L 21/66 P
