特許
J-GLOBAL ID：200903046588509570

アルミニウムディスクの研磨用組成物

発明者：
河西 敏雄

河西 敏雄 について

, 
加賀 隆生

加賀 隆生 について


出願人/特許権者：
日産化学工業株式会社

日産化学工業株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-197818
公開番号（公開出願番号）：特開平10-036819
出願日： 1996年07月26日
公開日（公表日）： 1998年02月10日
要約：
【要約】【課題】 オレンジピール、スクラッチ、ピット、突起などの表面欠陥がないということや最大表面荒さが小さいことだけにとどまらず、平均表面粗さにおいても小さな研磨面を得ることができる優れた特性を有するアルミニウムディスクの研磨用組成物を提供すること【解決手段】 5〜200m2 /gの比表面積と20〜1500nmの粒子径を有し、そして0.1〜3重量%の脱水性の水分を保有するコロイド状ジルコニアの安定な水性ゾルからなるアルミニウムディスクの研磨用組成物、及び5〜200m2 /gの比表面積と20〜1500nmの粒子径を有し、そして0.1〜3重量%の脱水性の水分を保有するコロイド状ジルコニアの凝集体を含有する水性スラリーからなるアルミニウムディスクの研磨用組成物。
請求項（抜粋）：
5〜200m2 /gの比表面積と20〜1500nmの粒子径を有し、そして0.1〜3重量%の脱水性の水分を保有するコロイド状ジルコニアの安定な水性ゾルからなるアルミニウムディスクの研磨用組成物。
IPC (3件)：
C09K 3/14 550 ,  B24B 37/00 ,  G11B 5/84
FI (3件)：
C09K 3/14 550 D ,  B24B 37/00 H ,  G11B 5/84 A
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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