磁気ディスク基板の研磨用組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢口平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-051838
公開番号（公開出願番号）：特開平10-121034
出願日： 1997年03月06日
公開日（公表日）： 1998年05月12日
要約：

【要約】【課題】磁気ディスクの表面粗さが小さく、かつ突起や研磨傷を生じることなく、しかも高い研磨速度が維持できる磁気ディスク基板の研磨用組成物を提供すること。【解決手段】水、酸化ジルコニウム微粒子、及び硝酸アルミニウム等の研磨促進剤からなるスラリー状の組成物を磁気ディスク基板の研磨に用いる。

請求項（抜粋）：

水、酸化ジルコニウム微粒子及び研磨促進剤からなる磁気ディスク基板の研磨用組成物。

IPC (4件)：

C09K 3/14 550 , C09K 3/14 , B24B 37/00 , G11B 5/84

FI (4件)：

C09K 3/14 550 D , C09K 3/14 550 Z , B24B 37/00 H , G11B 5/84 A

引用特許：

審査官引用 (9件)

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