特許
J-GLOBAL ID：200903046590422970
測定装置及び測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-017389
公開番号（公開出願番号）：特開2009-180524
出願日： 2008年01月29日
公開日（公表日）： 2009年08月13日
要約：
【課題】短時間で測定を行うことができ、簡素な構成の3次元測定装置及び測定方法を得る。【解決手段】薄板状部材の片面側に結像光学系及び撮像素子を配置し、溝部のうちの被測定部に蛍光を発する液体を流入させ、撮像素子により液体から発せられる蛍光を受光して画像を作成し、該画像に基づいて被測定部の平面形状及び深さの少なくとも一方を測定する測定装置とする。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
薄板状部材に形成された溝部の形状の測定装置であって、
前記薄板状部材の片面側に結像光学系及び撮像素子を配置し、前記溝部のうちの被測定部に蛍光を発する液体を流入させ、前記撮像素子により前記液体から発せられる蛍光を受光して画像を作成し、該画像に基づいて前記被測定部の平面形状及び深さの少なくとも一方を測定することを特徴とする測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B11/24 K
, G01B11/02 H
2F065AA25
, 2F065AA51
, 2F065FF04
, 2F065FF44
, 2F065JJ19
, 2F065JJ26
, 2F065LL04
, 2F065QQ24
, 2F065QQ31
