特許
J-GLOBAL ID：200903077249444225

形状測定方法及び形状測定装置

発明者：
宇津呂 英俊

宇津呂 英俊 について

, 
高田 和政

高田 和政 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (4件)： 板垣 孝夫 ,  森本 義弘 ,  笹原 敏司 ,  原田 洋平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-294381
公開番号（公開出願番号）：特開2006-105835
出願日： 2004年10月07日
公開日（公表日）： 2006年04月20日
要約：
【課題】 二次元配列型共焦点光学系を用いながら、三次元形状計測を高速に精度よくなし得、作製や各部の位置合わせも容易な形状測定方法を提供する。【解決手段】 光源1から出射した光を複数に分岐して対物レンズ5を介して被測定物体9に照射し、光軸方向に被測定物体9を相対移動させて、その移動の時々の反射光を光検出器アレイ8で検出し、被測定物体9の前記光軸方向における時々の位置データとそのときの光検出器アレイ8の検出信号とを対にしてデータ処理して、被測定物体9の表面形状を三次元計測するとともに、光源1から出射した光を回折格子3を介して前記複数に分岐する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光源から出射した光を対物レンズを介して被測定物体に照射し、光軸方向に被測定物体を相対移動させて、その移動の時々の反射光または投射光によって被計測物体自体が発する蛍光量を光検出器アレイで検出し、被測定物体の前記光軸方向における時々の位置データとそのときの前記光検出器アレイの検出信号とを対にしてデータ処理して、被測定物体の表面形状を三次元計測するに際し、 前記光源から出射した光を回折格子を介して前記複数に分岐して前記対物レンズを介して被測定物体に照射して表面形状を三次元計測する形状測定方法。
IPC (2件)：
G01B 11/25 ,  G01B 11/24
FI (2件)：
G01B11/24 E ,  G01B11/24 K
Fターム (23件)：
2F065AA53 ,  2F065BB29 ,  2F065DD04 ,  2F065DD06 ,  2F065FF10 ,  2F065FF41 ,  2F065FF49 ,  2F065GG04 ,  2F065GG15 ,  2F065HH06 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065LL22 ,  2F065LL30 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL42 ,  2F065PP02 ,  2F065PP12
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 特開平4-265918号公報
審査官引用 (7件)
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