特許
J-GLOBAL ID：200903046715067426
表示装置の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-304032
公開番号（公開出願番号）：特開2001-126867
出願日： 1999年10月26日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：
【要約】【課題】 インクジェットプロセスにより発光層が形成される有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、混色抑制と短絡回避のために、第1の絶縁膜および第2の絶縁膜を備えた素子分離構造に対して、第2の絶縁膜2のエッチング残さやサイドエッチの発生を、抑制する。【解決手段】 陽極上に、第1の絶縁膜を成膜し、そのあと、液相プロセスにより第2の絶縁膜を成膜し、そのあと、第2の絶縁膜を陽極上の発光させたい部分に開口部がくるようにパターニングし、そのあと、第1の絶縁膜を陽極上の発光させたい部分に開口部がくるようにパターニングし、そのあと、インクジェットプロセスにより発光層を形成する。また、第1の絶縁膜も、液相プロセスにより形成される。この構成により、第1の絶縁膜1の表面が平坦化され、第2の絶縁膜2の膜厚が均一化されるので、第2の絶縁膜2エッチング残さやサイドエッチの発生を、抑制できる。
請求項（抜粋）：
インクジェットプロセスにより発光層が形成される表示装置の製造方法であって、陽極上に、第1の絶縁膜を成膜し、そのあと、液相プロセスにより第2の絶縁膜を成膜し、そのあと、前記第2の絶縁膜を前記陽極上の発光させたい部分に開口部がくるようにパターニングし、そのあと、前記第1の絶縁膜を前記陽極上の発光させたい部分に開口部がくるようにパターニングし、そのあと、インクジェットプロセスにより発光層を形成することを特徴とする表示装置の製造方法。
IPC (4件)：
H05B 33/10
, H05B 33/12
, H05B 33/14
, H05B 33/22
H05B 33/10
, H05B 33/12 B
, H05B 33/14 A
, H05B 33/22 Z
3K007AB04
, 3K007AB08
, 3K007AB18
, 3K007BA06
, 3K007CA01
, 3K007CB01
, 3K007DA01
, 3K007DB03
, 3K007EA00
, 3K007EB00
, 3K007FA01
