特許

J-GLOBAL ID：200903046735500070

研磨布

発明者： 松名瀬 武雄 ,  渡辺 幸二 ,  高階 康二
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-023472
公開番号（公開出願番号）：特開2002-224945
出願日： 2001年01月31日
公開日（公表日）： 2002年08月13日
要約：

【要約】【課題】被研磨物の表面を高精度に研磨可能な研磨布を提供する。【解決手段】繊度0.3dtex以下の極細合成繊維を含む研磨布であって、該繊維に対して-OH、-COOH、-CONH-、-SO3の親水基を少なくとも1種以上含有する化合物が固着または共重合又はグラフト重合され、該繊維の親水化度が60以上である研磨布。

請求項（抜粋）：

繊度0.3dtex以下の極細合成繊維を含む研磨布であって、該繊維に対して-OH、-COOH、-CONH-、-SO3の親水基を少なくとも1種以上含有する化合物が固着または共重合又はグラフト重合され、該繊維の親水化度が60以上であることを特徴とする研磨布。

IPC (2件)：

B24B 37/00 ,  H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/00 C ,  H01L 21/304 622 F

Fターム (5件)：

3C058AA05 ,  3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB01 ,  3C058DA17

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 研磨シート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-145908   出願人：日本バイリーン株式会社
• 研磨布
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-174052   出願人：東レ株式会社
• 内部親水化処理されたセルロース系繊維
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-097404   出願人：日清紡績株式会社
• 研磨用布帛
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-246700   出願人：株式会社クラレ

審査官引用 (2件)

• 研磨シート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-145908   出願人：日本バイリーン株式会社
• 研磨布
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-174052   出願人：東レ株式会社