特許

J-GLOBAL ID：200903046740094802

測定経路内のガスの屈折率の変動を測定する装置及び方法

発明者： ヘンリー アレン ヒル ,  ピーター デ グルート
出願人/特許権者： ジゴー コーポレーション
代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-222801
公開番号（公開出願番号）：特開平10-090176
出願日： 1997年08月19日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：

【要約】【課題】 測定経路内のガスの屈折率の変動をステージの動作に実質的に影響されないで測定する装置及び方法を提供する。【解決手段】 測定経路(66)における、例えば空気のようなガスの屈折率における変動を測定する測定装置は、これらの変動に無関係に対象物体(67)の変位(displacement)を測定するのに使用できる。コヒーレント光(1,4)の光源は、測定経路(66)に沿って実質的に互いに調波関係を有する光源波長(λ1,λ2)を備えた2つの光源光線(11,12)を供給する。光線(11,12)は、測定経路(66)に沿った実質的に動作に影響されないスーパーヘテロダイン変調位相を供給するため、調波関係を有する光源波長に同様に調波関係を有するよう供給された光源波長に基づく変更ヘテロダイン移相を提供すべく電子的処理(98,981,982,983,984,985)が施される。

請求項（抜粋）：

測定経路内のガスの屈折率の変動を測定する装置であって、異なる波長と実質的に調波関係を有する少なくとも2つの光線を出射し、各光線が直交偏光状態である光源と、前記光線のそれぞれの直交偏光状態の間で周波数差を生成する手段と、前記光線を整列させて測定経路に沿う1本の実質的に共線を有する光線にする手段と、前記測定経路の物理的長さと前記測定経路における前記ガスの屈折率との積に比例する大きさの移相を有する移相光線を生成する手段と、前記移相光線のそれぞれの偏光成分を混合し、混合した出力光線を生成する手段と、前記光線の前記偏光状態の間の周波数差に関連するヘテロダイン周波数での振動及びヘテロダイン位相を備えるヘテロダイン電気信号を前記混合出力光線の強度から生成する手段と、前記ヘテロダイン周波数に調波関係を有する変更ヘテロダイン周波数及び前記ヘテロダイン位相に調波関係を有する変更ヘテロダイン位相を備える変更ヘテロダイン電気信号を前記ヘテロダイン電気信号から生成する手段と、前記変更ヘテロダイン電気信号の少なくとも2つを混合して2つの対応する変更ヘテロダイン周波数の差の1/2に実質的に等しいスーパーヘテロダイン変調周波数と、前記2つの対応する変更ヘテロダイン位相間の差の1/2に実質的に等しいスーパーヘテロダイン変調位相とからなる少なくとも1つのスーパーヘタロダイン電気信号を生成する手段と、前記スーパーヘテロダイン変調位相を解析して前記測定経路にわたって前記屈折率の変動を求める手段とからなる、測定経路内のガスの屈折率の変動を測定する装置。

IPC (3件)：

G01N 21/45 ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/00

FI (3件)：

G01N 21/45 A ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/00 G