特許
J-GLOBAL ID：200903054279558314
測定経路内のガスの屈折率の変動を測定する装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-222802
公開番号（公開出願番号）：特開平10-090175
出願日： 1997年08月19日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：
【要約】【課題】 測定経路内のガスの屈折率の変動をステージの動作に実質的に影響されないで測定する装置及び方法を提供する。【解決手段】 測定経路(66)における、例えば空気のようなガスの屈折率における変動を測定する方法及び装置は、これらの変動に無関係に対象物体(67)の変位を測定するのに使用できる。コヒーレント光(1,4)の光源は、測定経路(66)に沿って実質的に互いに調波関係を有する光源波長(λ1,λ2)を備えた2つの光源光線(11,12)を供給する。 光線(11,12)は、測定経路(66)全体にわたって多重通過を形成し、それぞれの光線に対する通過数が調波関係を有し、測定経路(66)に沿った動作に実質的に影響されないスーパーヘテロダイン変調位相を供給するため、供給された光線波長と測定経路(66)の全体にわたる通過数とに基づくヘテロダイン移相を供給するため、波長間の前記の実質的な調波関係と実質的に同様の関係である。
請求項（抜粋）：
測定経路内のガスの屈折率の変動を測定する装置であって、それぞれが直交偏光状態であり、異なる波長と実質的な調波関係とを有する少なくとも2つの光線を出射する光源と、前記光線のそれぞれの直交偏光状態の間で周波数差を生成する手段と、前記光線が同じ測定経路を通過するよう前記光線を整列させる手段と、移相光線を生成する光学的手段とを設け、その光学的手段は、光線に対して前記測定経路にわたって多重通過を生成する手段を備えてなり、それぞれの光線に対する通過数は、波長間の前記の実質的な調波関係と実質的に同様の関係で調波関係を有し、前記の光学的に生成された光線の移相が、測定経路の全体における通過数と前記測定経路の物理的長さ及び前記測定経路における前記ガスの屈折率との積に比例する大きさを有し、さらに、前記移相光線のそれぞれの偏光成分を混合し、混合された出力光線を生成する手段と、前記光線の前記偏光状態の間の周波数差に関連しヘテロダイン位相を備えるヘテロダイン周波数の振動からなる前記混合出力光線の強度からヘテロダイン電気信号を生成する手段と、前記ヘテロダイン電気信号の少なくとも2つを混合して2つの対応するヘテロダイン周波数の差の1/2に実質的に等しいスーパーヘテロダイン変調周波数と、前記2つの対応するヘテロダイン位相間の差の1/2に実質的に等しいスーパーヘテロダイン変調位相とを有する振幅変調搬送波からなる少なくとも1つのスーパーヘテロダイン電気信号を生成する手段と、前記スーパーヘテロダイン変調位相を解析して前記測定経路にわたって前記屈折率の変動を求める手段とを設けてなる測定経路内のガスの屈折率の変動を測定する装置。
引用特許：
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