特許

J-GLOBAL ID：200903046742750006

圧力センサ

発明者： 齋藤 宏 ,  井上 智広
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 成示 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-229166
公開番号（公開出願番号）：特開平10-073503
出願日： 1996年08月30日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：

【要約】【課題】 手間をかけることなく、確実に製作することができるようにする。【解決手段】 局部的に薄く形成することにより板状のダイヤフラム1cが設けられたシリコン製の基板1 と、ダイヤフラム1cに対向して基板1 に接合された接合部材2 と、を備え、接合部材2 との対向面1aとは反対面1fからの圧力を受けることによるダイヤフラム1cの撓み量でもって圧力変化を検出する圧力センサにおいて、接合部材2 は、ダイヤフラム1cとの間の対向空間1gに連通する連通孔2aが外方面から貫通して設けられた構成にしている。

請求項（抜粋）：

局部的に薄く形成することにより板状のダイヤフラムが設けられたシリコン製の基板と、ダイヤフラムに対向して基板に接合された接合部材と、を備え、接合部材との対向面とは反対面からの圧力を受けることによるダイヤフラムの撓み量でもって圧力変化を検出する圧力センサにおいて、前記接合部材は、前記ダイヤフラムとの間の対向空間に連通する連通孔が外方面から貫通して設けられたことを特徴とする圧力センサ。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭59-155971
  
• 半導体加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-304166   出願人：松下電工株式会社
• 半導体圧力変換器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-319668   出願人：松下電工株式会社
• 特開昭64-061641