特許
J-GLOBAL ID：200903046744465546
レーザビームスキャナ及びレーザ加工装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-263010
公開番号（公開出願番号）：特開平9-103893
出願日： 1995年10月11日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：
【要約】【課題】 ガルバノメータ型の利点を生かしつつ、レーザ光の位置精度をより向上させる。【解決手段】 レーザ光5の1次元の位置を検出する4つの位置検出センサ12が、X軸方向及びY軸方向にそれぞれ対向配置され、レーザ光5の位置補正時には、各位置検出センサ12にレーザ光5が走査される。各位置検出センサ12からの検出信号は、位置変換装置2で位置信号に変換され、制御装置1に送られる。制御装置1では、対向する2つの光検出センサ12ごとに、検出されたレーザ光5の位置の偏差と本来走査されるべきレーザ光5の位置の偏差との比から、補正量を算出し、補正量を実際の走査位置に加える。
請求項（抜粋）：
ガルバノメータを用いてレーザ光を偏向し所望位置に走査するレーザビームスキャナにおいて、前記ガルバノメータで偏向されたレーザ光の位置補正のために、前記レーザ光の走査範囲上の互いに直交する方向に対向して配置され、それぞれ入射したレーザ光の1次元の位置を検出する4つの光検出センサと、前記各光検出センサの対向する2つの光検出センサごとに、前記対向する2つの光検出センサで検出されたレーザ光の位置の偏差と本来走査されるべきレーザ光の位置の偏差との比から、補正量を算出し、前記補正量を実際の走査位置に加えることによりレーザ光の位置補正を行う制御手段とを有することを特徴とするレーザビームスキャナ。
IPC (4件)：
B23K 26/04
, B23K 26/08
, G02B 26/10
, G02B 26/10 104
B23K 26/04 A
, B23K 26/08 B
, G02B 26/10 A
, G02B 26/10 104
