特許
J-GLOBAL ID：200903046768446542
基線長可動型表面形状測定装置
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
,
代理人 (1件)：
社本 一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-328176
公開番号（公開出願番号）：特開2001-141429
出願日： 1999年11月18日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：
【要約】【課題】 高温、高放射線等の極限環境下で対象物の表面形状を測定するための装置を提供する。【解決手段】 投光光学系と観測光学系を備えたセンサヘッドから測定対象物までの距離を計測する三角測量方式を用いる表面形状測定装置であって、投光光学系はレーザビームの投光位置すなわち基線長を調節する駆動機構を有し、投光位置から対象物に投下されたレーザスポット光の観測面における結像点が観測面の中心に来たときの基線長を計測することにより、対象物までの距離を算出する方式を用いるものであり、さらにこの測定装置は、センサヘッドを横方向に移動させるとともに投光位置を中心とする円弧上で上下方向に移動させる機構を有し、これら横方向と上下方向への移動によって対象物上の測定点を二次元的にレーザビームで走査し、測定対象物の表面形状を測定する装置。
請求項（抜粋）：
投光光学系と観測光学系を備えたセンサヘッドから測定対象物までの距離を計測する三角測量方式を用いる表面形状測定装置であって、前記投光光学系はレーザビームの投光位置すなわち基線長を調節することのできる駆動機構を有し、前記距離を計測する方式は、前記投光位置から前記測定対象物に投下されたレーザスポット光の観測光学系での観測面における結像点が前記観測面の中心に来たときの基線長を計測することにより、前記測定対象物までの距離を算出する方式であり、さらにこの表面形状測定装置は、前記センサヘッドまたは観測光学系を横方向に移動または旋回動作させる機構と、前記センサヘッドを上下方向に旋回動作させる機構を有し、前記横方向と上下方向への移動または旋回動作によって前記測定対象物上の測定点を二次元的にレーザビームでスキャンニングし、前記測定対象物の凹凸すなわち表面形状を測定する装置。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01B 11/00
, G01C 3/06
G01B 11/00 B
, G01C 3/06 A
, G01B 11/24 A
, G01B 11/24 K
2F065AA49
, 2F065DD02
, 2F065DD17
, 2F065FF09
, 2F065FF23
, 2F065GG04
, 2F065GG07
, 2F065GG12
, 2F065HH04
, 2F065HH18
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065KK02
, 2F065LL02
, 2F065LL12
, 2F065MM02
, 2F065MM14
, 2F065MM15
, 2F065PP22
, 2F065QQ24
, 2F065QQ28
, 2F065UU01
, 2F112AA02
, 2F112BA10
, 2F112BA20
, 2F112CA04
, 2F112DA40
, 2F112FA20
, 2F112FA50
, 2F112GA10
