圧電共振子、フィルタおよび電子通信機器

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-139863
公開番号（公開出願番号）：特開2003-087085
出願日： 2002年05月15日
公開日（公表日）： 2003年03月20日
要約：

【要約】【課題】電極での共振エネルギーのロス少なく、かつ、共振周波数の温度変化に対する安定性を良好にする。【解決手段】基板2と、基板2に形成されている、少なくとも1層以上の圧電薄膜を有する内側薄膜部の上下面を少なくとも一対の上部電極4b及び下部電極4aを対向させて挟む構造の振動部4とを有する、共振子を複数設けた圧電共振子において、下部電極4aの下に、圧電薄膜または誘電薄膜を含む1層以上の外側薄膜部4cを有するとともに、振動部4はn倍波(ただし、nは2以上の整数)の振動モードで振動し、且つ上部電極4b及び下部電極4aが、概略、n倍波の腹の位置に設けられている。

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板に形成されている、少なくとも1層以上の圧電薄膜を有する内側薄膜部の上下面を少なくとも一対の上部電極及び下部電極を対向させて挟む構造の振動部とを有する、共振子を複数設けた圧電共振子において、前記下部電極の下に、圧電薄膜または誘電薄膜を含む1層以上の外側薄膜部を有するとともに、前記振動部はn倍波(ただし、nは2以上の整数)の振動モードで振動し、且つ前記上部電極及び下部電極が、概略、前記n倍波の腹の位置に設けられている、ことを特徴とする圧電共振子。

IPC (4件)：

H03H 9/17 , H01L 41/08 , H01L 41/09 , H01L 41/18

FI (4件)：

H03H 9/17 F , H01L 41/08 D , H01L 41/18 101 Z , H01L 41/08 U

Fターム (8件)：

5J108AA04 , 5J108AA07 , 5J108BB04 , 5J108BB07 , 5J108BB08 , 5J108CC11 , 5J108CC12 , 5J108DD08

引用特許：

審査官引用 (9件)

薄膜圧電素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-321594 出願人：三菱電機株式会社
特公平5-032925
圧電共振子
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-111299 出願人：株式会社村田製作所

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引用文献：

審査官引用 (1件)

ZnO-SiO2複合薄膜構造の2次厚み振動モードを利用したバルク弾性波デバイス

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