特許
J-GLOBAL ID：200903046786902091
研削装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小野 尚純
, 奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-200358
公開番号（公開出願番号）：特開2006-021264
出願日： 2004年07月07日
公開日（公表日）： 2006年01月26日
要約：
【課題】 被加工物の表面に保護テープを貼着して裏面を研削しても、保護テープの厚さのバラツキに影響されることなく、被加工物を所定の仕上がり厚さに研削することができる研削装置を提供する。【解決手段】 被加工物を保持する保持面を備えたチャックテーブルと、チャックテーブルの保持面に保持された被加工物を研削する研削手段と、研削手段をチャックテーブルの保持面と垂直な方向に研削送りする研削送り手段と、チャックテーブルに保持された被加工物の上面の高さ位置を検出するハイトゲージを具備する研削装置であって、被加工物の厚さを検出する厚さ測定器と、厚さ測定器とハイトゲージからの検出データに基づいて研削手段および研削送り手段を制御する制御手段具備している。制御手段は、厚さ検出器によって検出された加工前の被加工物の厚さと被加工物の仕上がり厚さデータから目標研削量を算出し、ハイトゲージからの検出データに基づいて加工前の被加工物の高さ位置から目標研削量に相当する高さ位置に達するまで研削する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被加工物を保持する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルの保持面に保持された被加工物を研削する研削手段と、該研削手段をチャックテーブルの保持面と垂直な方向に研削送りする研削送り手段と、チャックテーブルに保持された被加工物の上面の高さ位置を検出するハイトゲージと、を具備する研削装置において、
被加工物の厚さを検出する厚さ測定器と、
該厚さ測定器と該ハイトゲージからの検出データに基づいて該研削手段および該研削送り手段を制御する制御手段と、を具備し、
該制御手段は、被加工物の仕上がり厚さデータを格納する第1の格納領域と該厚さ測定器によって測定された加工前の被加工物の厚さデータを格納する第2の格納領域と仕上がり厚さデータと加工前の被加工物の厚さデータとに基づいて算出された目標研削量を格納する第3の格納領域を有する記憶手段を備え、該ハイトゲージからの検出データに基づいて加工前の被加工物の高さ位置から該目標研削量に相当する高さ位置に達したら該研削送り手段による研削送りを停止する、
ことを特徴とする研削装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B49/02 Z
, H01L21/304 631
3C034AA13
, 3C034AA17
, 3C034AA19
, 3C034CA01
, 3C034CA22
, 3C034CB03
, 3C034CB13
, 3C034DD01
, 3C034DD10
, 3C043BB00
, 3C043CC04
