特許
J-GLOBAL ID：200903046803833686
オゾン発生装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-174579
公開番号（公開出願番号）：特開平7-033405
出願日： 1993年07月15日
公開日（公表日）： 1995年02月03日
要約：
【要約】【目的】オゾン生成効率を高め、高濃度のオゾンを発生させる。【構成】一対の対向する金属電極のうち、誘電体が密着されていない側の電極表面の全面に、絶縁物としてZrO2 ,Ta2 O5 ,Al2 O3 などの酸化膜、もしくはTiN,SiNなどの窒化膜を被覆することにより、放電ギャップ間に無声放電を均一に発生させ、その結果、アーク放電への転移を防止することができるので、オゾン生成効率が向上し、高濃度のオゾンが得られる。
請求項（抜粋）：
対向する一対の金属電極と、一方の電極の対向面上に密着した誘電体を有するオゾン発生装置において、誘電体に対向する他方の電極表面を絶縁物で被覆することを特徴とするオゾン発生装置。
引用特許：
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