特許
J-GLOBAL ID：200903046845028139

ウエハ処理装置の運転方法

発明者：
永安 伸男

永安 伸男 について

, 
木原 秀樹

木原 秀樹 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (1件)： 特許業務法人第一国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-093598
公開番号（公開出願番号）：特開2008-251968
出願日： 2007年03月30日
公開日（公表日）： 2008年10月16日
要約：
【課題】ウエハ処理装置のロボットアームの位置の調整には、アームの基準となる位置をウエハの標準的な中心位置と処理室の試料台中心とが一致するように設定するティーチングが必要であるが、このティーチングは作業者の熟練を要し作業効率が悪く装置稼動率を低下させていた。【解決手段】ウエハ処理装置の真空ロボットのロボットアームに設けられた特定の位置を示す第一の印を、処理室の試料台上に配置され、前記ロボットアームの第一の印に対応する位置に配置された第二の印まで、ロボットアーム先端部を移動させて、検出した前記第一の印と第二の印との位置のずれ量を制御装置に入力して、ロボットアームの動作を制御させるティーチングを行う。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
内部が真空にさらされる真空容器内部に配置され、内部で略円形のウエハがプラズマを用いて処理される処理室と、前記ウエハがその上面に載せられる試料台と、前記試料台上に前記ウエハをこれらの中心同士の位置を合わせて載せるロボットアームとを備えたプラズマ処理装置において、前記ロボットアームに設けられた特定の位置を示す第一の印と、前記試料台上に配置され、前記ロボットアームの第一の印に対応する位置に配置された第二の印とを一致する前記ロボットアームの位置のデータを記憶し、このデータに基づいて前記ウエハを載せたロボットアームの動作を制御する制御装置を備えたプラズマ処理装置。
IPC (4件)：
H01L 21/306 ,  H01L 21/68 ,  C23C 16/44 ,  C23C 14/50
FI (4件)：
H01L21/302 101G ,  H01L21/68 F ,  C23C16/44 F ,  C23C14/50 K
Fターム (25件)：
4K029KA01 ,  4K030FA01 ,  4K030GA12 ,  5F004AA16 ,  5F004BC06 ,  5F004CA08 ,  5F004CA09 ,  5F031CA02 ,  5F031CA11 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA15 ,  5F031GA02 ,  5F031GA40 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031HA33 ,  5F031JA29 ,  5F031JA38 ,  5F031KA10 ,  5F031KA11 ,  5F031MA04 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (2件)

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