特許

J-GLOBAL ID：200903046868748031

積層薄板体の2枚取り防止装置及び防止方法

発明者： 日野 隆 ,  伊藤 伊佐雄 ,  長 信也 ,  田中 敏和
出願人/特許権者： 同和鉱業株式会社
代理人 (1件)： 澤木 誠一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-203007
公開番号（公開出願番号）：特開平8-051140
出願日： 1994年08月05日
公開日（公表日）： 1996年02月20日
要約：

【要約】【目的】 本発明の目的は、積み重ねられた半導体等の薄板体を一枚一枚と取り出すことのできる積層薄板体の2枚取り防止装置及び防止方法を得るにある。【構成】 積み重ねられた薄板体を上昇せしめ、所定位置に固定されている吸着パットにより最上部の薄板体を吸着させると同時に残りの薄板体を下降せしめ、この間、エアーを噴出せしめて積層薄板体の分離を促し、最上部の薄板体のみを取り出すようにした積層薄板体の2枚取り防止装置及び防止方法。

請求項（抜粋）：

積層薄板体の底面に係合した上記積層薄板体の上下動手段と、上記薄板体の真空吸着手段と、この真空吸着手段の上下動手段と、上記上下動手段によって上昇された積層薄板体の上部側方に向かって分離用ガスを噴射するガス噴射手段と、上記真空吸着手段によって上記薄板体が吸着されたことを検出する検出手段と、上記検出手段の検出出力によって上記上下動手段を下動し、上記真空吸着手段を移動せしめる制御手段とより成ることを特徴とする積層薄板体の2枚取り防止装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07 ,  B65H 3/08 310 ,  B65H 3/48 310 ,  B65H 1/14 322

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 薄板移送機
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-192995   出願人：東光株式会社