特許
J-GLOBAL ID:200903046871354664
高屈折率金属酸化物薄膜とその製造法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
柳川 泰男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-083916
公開番号(公開出願番号):特開2004-292191
出願日: 2003年03月25日
公開日(公表日): 2004年10月21日
要約:
【課題】高い屈折率と高い物理的強度そして高い耐熱性を示す非晶質金属酸化物(例、二酸化チタン)薄膜を提供する。【解決手段】透明でかつ、内部に微細な空隙を含む非晶質金属酸化物薄膜であって、屈折率(λ=500nmの光の屈折率)が1.8以上であり、微細空隙全体の80体積%以上を占める微細空隙の直径が5nm以下である非晶質金属酸化物薄膜。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
透明でかつ、内部に微細な空隙を含む非晶質金属酸化物薄膜であって、屈折率(λ=500nmの光の屈折率)が1.8以上であり、微細空隙全体の80体積%以上を占める微細空隙の直径が5nm以下である非晶質金属酸化物薄膜。
IPC (4件):
C01B13/32
, C01B13/18
, C01G23/047
, C01G23/053
FI (4件):
C01B13/32
, C01B13/18
, C01G23/047
, C01G23/053
Fターム (26件):
4G042DA01
, 4G042DB08
, 4G042DB10
, 4G042DB11
, 4G042DC03
, 4G042DD02
, 4G042DD06
, 4G042DD11
, 4G042DE05
, 4G042DE09
, 4G042DE14
, 4G047CA02
, 4G047CB06
, 4G047CC03
, 4G047CD02
, 4G072AA25
, 4G072AA28
, 4G072BB09
, 4G072BB13
, 4G072CC02
, 4G072EE06
, 4G072GG03
, 4G072HH30
, 4G072NN21
, 4G072PP17
, 4G072RR05
引用特許:
出願人引用 (3件)
審査官引用 (3件)
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反射防止膜
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-083917
出願人:信州大学長
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特開平3-261047
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特開平3-261047
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