特許

J-GLOBAL ID：200903046920030756

大気圧放電方法

発明者： 鯉沼 秀臣 ,  白石 正 ,  猪俣 清人 ,  井上 亨 ,  林 茂則 ,  宮永 昭治 ,  山崎 舜平
出願人/特許権者： 株式会社半導体エネルギー研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-097270
公開番号（公開出願番号）：特開平5-275191
出願日： 1992年03月24日
公開日（公表日）： 1993年10月22日
要約：

【要約】【構成】 同心円筒状に構成された中心導体11と外側導体12とを電極として有し、また外側導体12に密接して設けられた円筒状絶縁物13を有したプラズマ発生装置において、円筒状絶縁物13の厚さを薄くするか、円筒状絶縁物13の誘電率を高くすることによって、中心導体11と円筒状絶縁物13との間にかかる電圧を高くし、アルゴンを主成分とする気体を反応空間15にて常圧で低温プラズマ化させる。

請求項（抜粋）：

金属等の導電体で構成された電極を同心円筒状に配し、該電極の隙間に高誘電率を有する円筒状絶縁体を同心円状に、かつ外側電極に接するように挿入し、該絶縁体の隙間に希ガスを主体とする気体を大気圧状態で送流状態に保持し、前記電極間に交流電界を印加して前記希ガスを主体とする気体を電離することにより、前記絶縁体と中心電極の隙間にプラズマを生ぜせしめることを特徴とする大気圧放電方法。

IPC (4件)：

H05H 1/26 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/302 ,  B23K 10/00 504