表面検査装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-237449
公開番号（公開出願番号）：特開2000-065755
出願日： 1998年08月24日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】被検査面における表面の割れや捩れやめくれ上がりのような顕著な凹凸性を持たない模様状ヘゲ欠陥を確実に検出して高精度に欠陥を検出する。【解決手段】信号処理部31は0度,45度,-45度になるように配置されたリニアアレイカメラ23からの出力画像信号をシェーディング補正して正常部が全階長の中心濃度になるように正規化して平坦化し、正常部に対する相対的な変化を示す画像信号に変換する。この正常部に対して正常状態を表す濃度レベルより大きな変化を示す疵候補領域を抽出し、抽出した疵候補領域内において3種類の画像信号から特徴量を算出する。抽出された全ての疵候補について相対的な位置関係を判断して、近接している疵候補領域を連結して新たな疵候補領域と定める。この疵候補領域の特徴量から特徴量の組み合わせパターンを算出し、疵の種類と等級を判定する。

請求項（抜粋）：

投光部と受光部と信号処理部とを有し、投光部は被検査面に偏光を入射し、受光部は少なくとも3方向の異なる角度の偏光を受光する複数の受光光学系を有し、被検査面で反射した反射光を検出して画像信号に変換し、信号処理部は各受光光学系から出力された画像信号から被検査面の地肌信号が基準値となるように規格化し、基準値に対する変化量から疵候補領域を抽出し、各疵候補の特徴量を算出し、設定された距離間隔より近接している疵候補領域を連結して各疵候補の特徴量から1個の疵としての連結特徴量を算出し、算出した連結特徴量から表面疵の種類と等級を判定することを特徴とする表面検査装置。

Fターム (12件)：

2G051AA37 , 2G051AB02 , 2G051AB07 , 2G051BA11 , 2G051CA03 , 2G051CA07 , 2G051CB01 , 2G051EA11 , 2G051EB01 , 2G051ED01 , 2G051ED07 , 2G051ED21

引用特許：

審査官引用 (2件)

表面検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-297897 出願人：日本鋼管株式会社
表面欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-235507 出願人：富士ゼロックス株式会社

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