特許
J-GLOBAL ID:200903046930453604
層状ルテニウム酸化合物膜
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
小宮 良雄
, 大西 浩之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-044963
公開番号(公開出願番号):特開2006-233232
出願日: 2005年02月22日
公開日(公表日): 2006年09月07日
要約:
【課題】 大きな電荷蓄積能と優れたサイクル安定性を有し、基板への密着性が良い層状ルテニウム酸化合物膜、および簡便で効率の良いそれの製造方法を提供する。【解決手段】 層状ルテニウム酸化合物膜は、非プロトン性高誘電率溶媒中でコロイド状であるルテニウム酸化合物が、電気泳動により層状に堆積して膜を形成している。その製造方法は、酸化ルテニウムとアルカリ金属化合物とを焼成または溶融する工程、それを酸、アルキルアミン、テトラアルキルアミンの各溶液中で順次撹拌してルテニウム酸化合物の層状微粒子を形成する工程、該微粒子を非プロトン性高誘電率溶媒に分散し層剥離させたコロイド状ルテニウム酸化合物を形成する工程、および該コロイド状ルテニウム酸化合物を電気泳動により層状に堆積させて、膜を形成する工程を有している。【選択図】 図10
請求項(抜粋):
非プロトン性高誘電率溶媒中でコロイド状であるルテニウム酸化合物が、電気泳動により層状に堆積して膜を形成していることを特徴とする層状ルテニウム酸化合物膜。
IPC (4件):
C25D 13/02
, B01J 19/08
, C01G 55/00
, H01G 9/058
FI (4件):
C25D13/02 Z
, B01J19/08 F
, C01G55/00
, H01G9/00 301A
Fターム (12件):
4G048AA02
, 4G048AB03
, 4G048AC08
, 4G048AD02
, 4G075AA24
, 4G075AA27
, 4G075BB10
, 4G075CA14
, 4G075CA61
, 4G075EC21
, 4G075FA12
, 4G075FC15
引用特許: