変位測定装置及び変位測定方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：本庄武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-338272
公開番号（公開出願番号）：特開2007-147299
出願日： 2005年11月24日
公開日（公表日）： 2007年06月14日
要約：

【課題】光学的三角測距方式と共焦点方式とを組み合わせながらも,上記光学的三角測距方式が抱えるスペックルノイズの問題及び上記共焦点方式が抱える構成の複雑化などの問題を一挙に解消することのできる変位測定装置及び変位測定方法を提供すること。【解決手段】色収差を有するレンズ4を有する照射系光学機器Aから試料5に対して光を斜めに照射させ,上記試料5からの反射光を受光器14を有する受光系光学機器Bで受光する。上記受光器14で受光された上記反射光の入射位置を測定することにより,その入射位置に応じた試料5の高さ変位(試料高さ)を測定することができる。また,上記入射位置における受光量が所定値以上であることをもって試料5に照射された波長光のいずれかが試料5上で焦点を結んでいると判断できるため,この場合は,上記焦点を求めることで試料5の高さ変異(試料高さ)を測定することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光源から出射された複数の波長光からなる多波長光を色収差を有する色収差レンズで収束すると共に収束された光を試料に対して所定の傾斜角で照射する照射系光学手段と, 上記照射系光学手段により照射された光の上記試料からの反射光を受光する受光手段と, 上記受光手段で受光される反射光の受光量分布に基づいて上記試料表面近傍で結像する波長光の焦点の位置情報を取得する位置情報取得手段と, 上記位置情報取得手段により取得された上記焦点の位置情報に基づいて上記試料の高さ変位を算定する変位算定手段と, を具備してなることを特徴とする変位測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/02 , G01B 11/00

FI (2件)：

G01B11/02 Z , G01B11/00 B

Fターム (42件)：

2F065AA06 , 2F065AA09 , 2F065AA20 , 2F065AA24 , 2F065AA30 , 2F065AA50 , 2F065CC02 , 2F065CC06 , 2F065CC17 , 2F065DD02 , 2F065DD04 , 2F065FF09 , 2F065FF10 , 2F065FF42 , 2F065FF44 , 2F065FF61 , 2F065GG02 , 2F065GG03 , 2F065GG23 , 2F065GG24 , 2F065HH04 , 2F065HH12 , 2F065HH18 , 2F065JJ02 , 2F065JJ03 , 2F065JJ08 , 2F065JJ16 , 2F065JJ18 , 2F065JJ25 , 2F065JJ26 , 2F065LL10 , 2F065LL30 , 2F065LL43 , 2F065NN06 , 2F065NN08 , 2F065QQ05 , 2F065QQ08 , 2F065QQ23 , 2F065QQ25 , 2F065QQ29 , 2F065UU01 , 2F065UU07

引用特許：

出願人引用 (2件)

高さ判別装置および方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-181681 出願人：オムロン株式会社
米国特許第5785651号明細書

前のページに戻る