異物の数を測定する方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-005084
公開番号（公開出願番号）：特開平9-259247
出願日： 1997年01月14日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】傷による異物の数を測定する方法を提供する。【解決手段】本発明の異物の数を測定する方法は、第1の線で囲まれた第1の領域の中に含まれる異物の数を数える工程と、前記第1の領域の周りに位置する第2の領域の中に含まれる異物の数を数える工程とを包含する。

請求項（抜粋）：

第1の線で囲まれた第1の領域の中に含まれる異物の数を数える工程と、該第1の領域の周りに位置する第2の領域の中に含まれる異物の数を数える工程と、を包含する異物の数を測定する方法。

IPC (5件)：

G06M 11/00 , G01B 11/30 , G01N 21/88 , G06T 7/00 , H01L 21/66

FI (6件)：

G06M 11/00 D , G01B 11/30 D , G01N 21/88 E , H01L 21/66 J , G06F 15/62 405 A , G06F 15/70 330 H

引用特許：

審査官引用 (4件)

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