特許
J-GLOBAL ID：200903047068798444

回折素子の作製方法

発明者：
佐藤 弘昌

佐藤 弘昌 について


出願人/特許権者：
旭硝子株式会社

旭硝子株式会社 について


代理人 (1件)： 泉名 謙治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-262200
公開番号（公開出願番号）：特開平11-125710
出願日： 1997年09月26日
公開日（公表日）： 1999年05月11日
要約：
【要約】【課題】位相差板部を内蔵でき、軽量小型で、かつ、格子ストライプと入射偏光方向との角度に制約がなく、工業的生産が可能で高い光利用効率を有する回折素子を提供する。【解決手段】位相差を有する水晶製の透明基板20を使用し、その上に高分子液晶の複屈折性膜24を形成し、フォトリソグラフィ法とドライエッチング法により高分子液晶膜に周期的な格子ストライプ27を形成し、等方性材料28で充填した。
請求項（抜粋）：
透明基板上に形成された有機薄膜の表面または有機系材料からなる基板の表面に、感光性有機材料または無機材料からなる選択マスクを作製し、選択的にエッチングすることにより有機格子を形成することを特徴とする回折素子の作製方法。
IPC (4件)：
G02B 5/18 ,  B29D 11/00 ,  G02B 1/04 ,  B29K105:32
FI (3件)：
G02B 5/18 ,  B29D 11/00 ,  G02B 1/04
引用特許：
審査官引用 (4件)
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