絞り装置及びそれを用いた投影露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高梨幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-117684
公開番号（公開出願番号）：特開平7-301845
出願日： 1994年05月06日
公開日（公表日）： 1995年11月14日
要約：

【要約】【目的】露光光として強力な紫外光を用いて半導体デバイスを製造するのに好適な絞り装置及びそれを用いた投影露光装置を得ること。【構成】複数の遮光板をそれらの一領域が互いに重複するようにし、該複数の遮光板を互いに摺動させることにより所定の開口を得るようにした絞り装置において、該複数の遮光板はその摺動面に突起部を有し、該突起部により遮光板同士が互いに微小接触するようにしていること。

請求項（抜粋）：

複数の遮光板をそれらの一領域が互いに重複するようにし、該複数の遮光板を互いに摺動させることにより所定の開口を得るようにした絞り装置において、該複数の遮光板はその摺動面に突起部を有し、該突起部により遮光板同士が互いに微小接触するようにしていることを特徴とする絞り装置。

IPC (4件)：

G03B 9/02 , G03B 27/00 , G03B 27/32 , H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/30 515 D , H01L 21/30 527

引用特許：

審査官引用 (5件)

特公昭43-013175
特開昭50-120621
特開昭59-181328

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