特許
J-GLOBAL ID：200903047085183534
品質管理装置、品質管理方法および品質管理プログラム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
森 哲也
, 内藤 嘉昭
, 崔 秀▲てつ▼
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-324594
公開番号（公開出願番号）：特開2005-093687
出願日： 2003年09月17日
公開日（公表日）： 2005年04月07日
要約：
【課題】 QCトレンドの変化の方向を考慮しつつアラームの発生を制御する。【解決手段】 管理限界更新手段3は、検査データの平均値が規格中心値以上の場合、管理限界の上限値を(検査データの平均値+3σ)に更新するとともに、管理限界の下限値を(規格中心値-3σ)に更新し、検査データの平均値が規格中心値より小さい場合、管理限界の上限値を(規格中心値+3σ)に更新するとともに、管理限界の下限値を(検査データの平均値-3σ)に更新する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
品質特性に関連する検査データを収集するデータ収集手段と、
品質管理の管理限界の上限と下限とで異なる基準を設定する基準設定手段と、
前記基準設定手段で設定された基準に基づいて、前記管理限界の上限と下限とを更新する管理限界更新手段と、
前記検査データが前記管理限界内に収まっているかどうかを判定する異常判定手段と、
前記異常判定手段による判定結果に基づいてアラームを発生するアラーム発生手段とを備えることを特徴とする品質管理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/02 Z
, G06F17/60 106
