二つの真空室間に配置される真空バルブの制御方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：佐藤辰彦 , 鷺健志 , 本間賢一 , 加賀谷剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-224292
公開番号（公開出願番号）：特開2006-052846
出願日： 2005年08月02日
公開日（公表日）： 2006年02月23日
要約：

【課題】真空バルブにおいて、柔軟なシールの劣化を減少しつつ、真空バルブの閉塞状態において弁開口の良好なシーリングを達成できる真空バルブの制御方法を提供する。【解決手段】アクチュエータ9により閉塞部材4に加えられる閉塞力は制御ユニット11により調節される。このため圧力制御バルブ13が備えられ制御ライン18を介して制御ユニット11により制御される。圧縮空気供給ラインが接続部19に結合される。真空バルブを閉塞するためには、制御ユニット11により制御ライン20を介して遮断バルブ12を開状態に調節し、排出バルブ24は制御ユニット11により閉鎖状態に移動される。圧縮空気ライン21を通してアクチュエータ9のピストン空間22に空気圧が流入し、それによってピストン-シリンダ・ユニットによって加えられる閉塞力が圧力制御バルブ13により調節される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

弁開口を備えるバルブ本体と、真空バルブの閉塞状態において弁開口を閉塞し、真空バルブの開放状態において弁開口を開放する閉塞部材と、真空バルブの閉塞状態において前記閉塞部材が弁開口を閉塞するために真空バルブのシーリング面に接触し押圧力が作用する少なくとも一つの柔軟なシールと、真空バルブを閉塞するためシーリング面に前記シールを押圧する少なくとも一つのアクチュエータを備えて真空バルブを開放及び閉塞する作動装置と、二つの真空室の圧力をそれぞれ検出する圧力センサからの入力信号として圧力測定値が供給され、前記少なくとも一つのアクチュエータを制御する制御ユニットと、からなる二つの真空室の間に配設される真空バルブにおいて、該真空バルブの制御方法が、前記二つの真空室の間の差圧を前記制御ユニットにより決定するステップと、真空バルブの閉塞状態において、前記制御ユニットにより前記少なくとも一つのアクチュエータを制御することにより前記シールに作用する押圧力の大きさを制御するステップとからなり、前記押圧力の大きさは前記決定された二つの真空室の間の差圧に基づき制御されることを特徴とする真空バルブの制御方法。

IPC (2件)：

F16K 51/02 , F16K 3/16

FI (2件)：

F16K51/02 B , F16K3/16

Fターム (7件)：

3H053AA03 , 3H053AA22 , 3H053BD10 , 3H053CA06 , 3H066AA03 , 3H066BA21 , 3H066CA01

引用特許：

出願人引用 (10件)

US特許No.4052036
US特許No.6367770B1
US特許No.4470576

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審査官引用 (10件)

特開平4-347084
特開昭55-139562
特開昭53-054319

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