塗工装置、塗工方法およびこれらを用いて製造されたカラーフィルタ、またはカラー液晶表示装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-315685
公開番号（公開出願番号）：特開2002-219396
出願日： 2001年10月12日
公開日（公表日）： 2002年08月06日
要約：

【要約】【課題】塗液中のポリマーゲル・粒子凝集物等の異物捕捉性能が良好で、ポリマーゲル・顔料凝集物およびそれらの混合体の分散/破砕効果を有し、塗液起因の異物塗布欠点がなく、また、濾過装置内部の残存エアーを極小化して膜厚均一性の高い高品位の塗膜が得られる枚葉塗工装置、枚葉塗工方法を提供する。また、かかる枚葉塗工方法および装置を用いたカラーフィルタの製造方法とそのカラーフィルタを用いたカラー液晶表示装置を提供する。【解決手段】塗液を非定常的に供給する塗工装置において、フィルタを具備するとともに、該フィルタの濾材のヤング率が200MPa以上であり、かつ、該フィルタの孔径が0.05μm以上100μm以下であることを特徴とする塗工装置。

請求項（抜粋）：

塗液を非定常的に供給する塗工装置において、フィルタを具備するとともに、前記フィルタの濾材のヤング率が200MPa以上であり、かつ、前記フィルタの孔径が0.05μm以上100μm以下であることを特徴とする塗工装置。

IPC (9件)：

B05C 11/00 , B01D 35/02 , B01D 35/30 , B01D 39/20 , B01D 63/08 , B05C 5/02 , B05D 1/26 , B05D 3/00 , G02B 5/20 101

FI (9件)：

B05C 11/00 , B01D 35/30 , B01D 39/20 A , B01D 63/08 , B05C 5/02 , B05D 1/26 Z , B05D 3/00 B , G02B 5/20 101 , B01D 35/02 Z

Fターム (80件)：

2H048BA43 , 2H048BA45 , 2H048BA47 , 2H048BA48 , 2H048BB42 , 4D006GA02 , 4D006HA41 , 4D006JA02C , 4D006JA14A , 4D006JA14B , 4D006JA18A , 4D006JA18B , 4D006KA12 , 4D006KA72 , 4D006KB17 , 4D006KB30 , 4D006KE05Q , 4D006MA03 , 4D006MA08 , 4D006MA09 , 4D006MA22 , 4D006MB01 , 4D006MB16 , 4D006MC02 , 4D006MC02X , 4D006PA01 , 4D006PB13 , 4D006PC01 , 4D006PC80 , 4D019AA03 , 4D019BA02 , 4D019BA04 , 4D019BA05 , 4D019BB03 , 4D019BB06 , 4D019BB09 , 4D019BC15 , 4D019BD01 , 4D019CB04 , 4D064AA40 , 4D064CD03 , 4D075AC02 , 4D075AC84 , 4D075AC93 , 4D075AC94 , 4D075AC95 , 4D075AC96 , 4D075CA48 , 4D075DA06 , 4D075DB07 , 4D075DB13 , 4D075DB14 , 4D075DC22 , 4D075DC24 , 4D075EA14 , 4D075EB07 , 4D075EB13 , 4D075EB22 , 4D075EB33 , 4D075EB35 , 4D075EB38 , 4D075EB39 , 4D075EC11 , 4F041AA02 , 4F041AA05 , 4F041AB02 , 4F041BA02 , 4F041BA31 , 4F041BA34 , 4F041CA02 , 4F042AA02 , 4F042AA10 , 4F042BA03 , 4F042BA06 , 4F042BA08 , 4F042BA12 , 4F042BA15 , 4F042CB02 , 4F042CB11 , 4F042CB25

引用特許：

審査官引用 (5件)

フォトレジスト塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-326998 出願人：ソニー株式会社
感光性着色樹脂組成物用の塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-006297 出願人：凸版印刷株式会社
特開昭63-116779

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