特許

J-GLOBAL ID：200903047197660106

液体ヘリウム供給装置

発明者： 武田 常広 ,  高江 勉
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団
代理人 (1件)： 長瀬 成城
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-328021
公開番号（公開出願番号）：特開2002-130596
出願日： 2000年10月27日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：

【要約】【課題】液体ヘリウム貯留槽に、計測装置の運転を中断することなく、液体ヘリウムを定流量で連続して供給が可能な液体ヘリウム供給装置を提供する。【解決手段】液体ヘリウム貯留槽1と、液体ヘリウム容器4と、ヘリウムガスボンベ6とを備え、前記ヘリウムガスボンベから供給されたヘリウムガスを前記液体ヘリウム容器内に配置した熱交換部3で冷却し、冷却されたヘリウムガスを前記液体ヘリウム貯留槽1に供給すべく構成したことを特徴とする液体ヘリウム供給装置。

請求項（抜粋）：

液体ヘリウム貯留槽と、液体ヘリウム容器と、ヘリウムガスボンベとを備え、前記ヘリウムガスボンベから供給されたヘリウムガスを前記液体ヘリウム容器内に配置した熱交換部で冷却し、冷却されたヘリウムガスを前記液体ヘリウム貯留槽に供給すべく構成したことを特徴とする液体ヘリウム供給装置。

IPC (3件)：

F17C 5/04 ,  B01J 4/00 101 ,  F25D 3/10

FI (3件)：

F17C 5/04 ,  B01J 4/00 101 ,  F25D 3/10 A

Fターム (13件)：

3E072DA01 ,  3L044AA03 ,  3L044DB03 ,  3L044GA01 ,  3L044KA05 ,  4G068AA01 ,  4G068AB12 ,  4G068AC02 ,  4G068AC16 ,  4G068AD21 ,  4G068AD49 ,  4G068AE01 ,  4G068AE06

引用特許：

出願人引用 (1件)

• クライオスタットへの液体ヘリウム補給装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-064567   出願人：東洋酸素株式会社

審査官引用 (1件)

• クライオスタットへの液体ヘリウム補給装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-064567   出願人：東洋酸素株式会社