特許
J-GLOBAL ID:200903047209697965

圧縮成形型の樹脂封止装置及びその圧縮方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 牧野 剛博 ,  高矢 諭 ,  松山 圭佑
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-321901
公開番号(公開出願番号):特開2008-132719
出願日: 2006年11月29日
公開日(公表日): 2008年06月12日
要約:
【課題】可動プラテンの圧力精度及び位置精度を維持しつつ、加圧能力を向上させる。【解決手段】可動プラテン104と連結された下型112を上型110側へと移動させることにより、被成形品を樹脂にて圧縮封止する圧縮成形型の樹脂封止装置を、可動プラテン104の移動をガイドするリニアガイド114と、可動プラテン104をリニアガイド114に沿って移動させるための動力源となるボールねじ120を有する第1のプレス機構と、該第1のプレス機構と別系統として、流体シリンダ140を有する第2のプレス機構とを備えて構成する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
可動プラテンと連結された金型を相手金型側へと移動させることにより、被成形品を樹脂にて圧縮封止する圧縮成形型の樹脂封止装置であって、 前記可動プラテンの移動をガイドするリニアガイドと、 前記可動プラテンを前記リニアガイドに沿って移動させるための動力源となる別系統の第1、第2のプレス機構と、を備える ことを特徴とする圧縮成形型の樹脂封止装置。
IPC (2件):
B29C 43/18 ,  H01L 21/56
FI (2件):
B29C43/18 ,  H01L21/56 R
Fターム (14件):
4F204AG21 ,  4F204AG27 ,  4F204AH33 ,  4F204AH37 ,  4F204FA01 ,  4F204FB01 ,  4F204FQ01 ,  4F204FQ02 ,  4F204FQ06 ,  4F204FQ40 ,  5F061AA01 ,  5F061CA22 ,  5F061DA11 ,  5F061DA14
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 樹脂封止方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2001-329951   出願人:株式会社サイネックス

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