特許
J-GLOBAL ID：200903047234973870
電子放出素子
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-265044
公開番号（公開出願番号）：特開平8-129951
出願日： 1994年10月28日
公開日（公表日）： 1996年05月21日
要約：
【要約】【目的】 複数のカソードから放出される電子ビームを電子放出素子と一体的に設けた収束電極により効率よく収束して、大電流でしかも尖鋭で解像度の高い電子ビームを得ることのできる電子放出素子を提供する。【構成】 基板1上に形成した複数の円錐状のカソード4と、それぞれの前記カソード4を包囲するようにキャビティ5を形成する絶縁層6及びゲート電極7と、このゲート電極7上に形成した第二の絶縁層9上にあって前記カソード4から引き出された電子を収束する収束電極10とを積層形成した電子放出素子において、前記収束電極10の少なくとも一部を前記カソード4に対し偏心させて配置する。
請求項（抜粋）：
基板上に形成した複数の円錐状のカソードと、それぞれの前記カソードを包囲するようにキャビティを形成する絶縁層及びゲート電極と、該ゲート電極上に形成した第二の絶縁層上にあって前記カソードから引き出された電子を収束する収束電極とを積層形成した電子放出素子において、前記収束電極の少なくとも一部を前記カソードに対し偏心させて配置したことを特徴とする電子放出素子。
引用特許：
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