特許

J-GLOBAL ID：200903096399910601

冷陰極素子およびその製造方法

発明者： 巻島 秀男 ,  山田 恵三 ,  富張 美徳
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-009631
公開番号（公開出願番号）：特開平6-223706
出願日： 1993年01月25日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：

【要約】【目的】構造が簡単で、組立が簡単で、精度が高く、小型の電子銃を構成することができる冷陰極を実現する。【構成】本発明においては、微小冷陰極群を構成する第1の絶縁層およびゲート電極の上に微小冷陰極群に共通の開口を有し、かつ第1の絶縁層より厚い第2の絶縁体と金属層を作る。これにより、多数の微小冷陰極から放出された電子から電子ビームを形成する。この陰極を製造するには、ゲート電極を含む冷陰極チップと厚い絶縁体と金属層で構成された構造体を独立に作り、両者の位置を高精度合わせ、接合することによって一体化し、一つの部品とする。

請求項（抜粋）：

エミッタ群が形成された基板と、前記エミッタ群の各エミッタの周囲に形成された第1の絶縁層と、前記第1の絶縁層上に形成され前記各エミッタに対向配置された第1の電極層と、前記第1の電極層上に形成され前記エミッタ群に共通の開口を有するとともに前記第1の絶縁層よりも厚い第2の絶縁層と、前記第2の絶縁層上に形成され前記エミッタ群に共通の開口を有する第2の電極層とを有することを特徴とする冷陰極素子。

IPC (2件)：

H01J 1/30 ,  H01J 9/02

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 電子放出素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-033086   出願人：松下電器産業株式会社