特許

J-GLOBAL ID：200903047244502468

ダイヤモンドライクカーボン硬質多層膜および耐摩耗性、耐摺動性に優れた部材

発明者： 岩村 栄治
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 本田 ▲龍▼雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-081969
公開番号（公開出願番号）：特開2001-261318
出願日： 2000年03月23日
公開日（公表日）： 2001年09月26日
要約：

【要約】【課題】 耐摩耗性に優れ、しかも摩擦係数が低く、引いては優れた摺動特性を有するコーティング膜および同特性に優れた部材を提供する。【解決手段】 本発明のコーティング膜は、炭素を主成分としたアモルファス構造体であって、平均径2nm以上からなるグラファイトクラスターを含む低硬度硬質炭素層4と平均径1nm以下からなるグラファイトクラスターを含む高硬度硬質炭素層5が交互に積層されたDLC硬質多層膜3である。前記低硬度硬質炭素層4におけるグラファイトクラスターは、グラファイトのc面が球核状に積層したシェル構造を持つものが好ましい。また、最外層Aを低硬度硬質炭素層で形成し、その層厚を2nm〜200nmとすることが好ましい。また、本発明の部材は、基材1に中間層2を介して前記DLC硬質多層膜3が積層形成されたものである。

請求項（抜粋）：

炭素を主成分としたアモルファス構造体であって、平均径2nm以上からなるグラファイトクラスターを含む低硬度硬質炭素層と平均径1nm以下からなるグラファイトクラスターを含む高硬度硬質炭素層が交互に積層されたダイセモンドライクカーボン硬質多層膜。

IPC (4件)：

C01B 31/02 101 ,  C23C 14/22 ,  C23C 28/04 ,  C22C 26/00

FI (4件)：

C01B 31/02 101 Z ,  C23C 14/22 C ,  C23C 28/04 ,  C22C 26/00 Z

Fターム (26件)：

4G046CB01 ,  4G046CB08 ,  4G046CC06 ,  4K029AA04 ,  4K029BA02 ,  4K029BA55 ,  4K029BA58 ,  4K029BA60 ,  4K029BB02 ,  4K029BC02 ,  4K029BD03 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029FA04 ,  4K044AA02 ,  4K044AA06 ,  4K044AA09 ,  4K044AA11 ,  4K044AA12 ,  4K044AA13 ,  4K044AA16 ,  4K044BA18 ,  4K044BB02 ,  4K044BB17 ,  4K044BC01 ,  4K044CA13

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 炭素膜及びその形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-230459   出願人：日新電機株式会社
• 硬質炭素系被膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-259832   出願人：三洋電機株式会社