硬質炭素系被膜

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：目次誠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-259832
公開番号（公開出願番号）：特開平11-100671
出願日： 1997年09月25日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：

【要約】【課題】膜硬度が高く、かつ基板からの剥離や基板の反りの原因となる内部応力が低減した硬質炭素系被膜を得る。【解決手段】水素を含有する非晶質炭素からなる硬質炭素層2を少なくとも2層有し、該硬質炭素層2の間に内部応力緩和層1を配置した積層構造を有することを特徴としている。

請求項（抜粋）：

水素を含有する非晶質炭素からなる硬質炭素層を少なくとも2層有し、該硬質炭素層の間に内部応力緩和層を配置した積層構造を有する硬質炭素系被膜。

IPC (3件)：

C23C 16/26 , C01B 31/02 101 , C23C 14/06

FI (3件)：

C23C 16/26 , C01B 31/02 101 Z , C23C 14/06 B

引用特許：

審査官引用 (5件)

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