特許
J-GLOBAL ID：200903047303085442

圧電アクチュエータ及びこれを備えた液体噴射装置並びに圧電アクチュエータの製造方法

発明者：
矢崎 士郎

矢崎 士郎 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 稲葉 良幸 ,  田中 克郎 ,  大賀 眞司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-085740
公開番号（公開出願番号）：特開2005-278265
出願日： 2004年03月23日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：
【課題】 リード電極を構成する材料と、下電極形成用層を構成する材料との間に反応が生じることを防止し、保護膜の密着性を向上させることで、信頼性が向上した圧電アクチュエータ、及びこれを備えた液体噴射装置、並びにこの圧電アクチュエータの製造方法を提供する。 【解決手段】 ノズル開口21に連通する圧力発生室12を有する流路形成基板上10に形成された振動板50と、振動板50の圧力発生室12に対応する圧電体能動部領域上に形成された下電極33、下電極33上に形成された圧電体層43及び圧電体層43上に形成された上電極44を有する圧電体素子300と、上電極44から振動板50の圧電体非能動部上に延設されるリード電極60を備え、振動板50は、リード電極60と接触する領域が凹状に形成されてなる圧電アクチュエータ500である。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
基板の一方の面上に形成され、振動板を構成する絶縁層と、 前記絶縁層上の一部に形成された下電極、当該下電極上に形成された圧電体層及び当該圧電体層上に形成された上電極を有する圧電体素子と、 前記上電極から前記絶縁層の前記圧電体素子が形成されない領域上に延設されるリード電極と、 を備え、 前記絶縁層は、前記リード電極の前記圧電体素子が形成されない領域の少なくとも一部が凹状に形成されてなる圧電アクチュエータ。
IPC (8件)：
H02N2/00 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/16 ,  H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22
FI (12件)：
H02N2/00 B ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 J ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/08 L ,  H01L41/08 D ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101C ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101J
Fターム (9件)：
2C057AF69 ,  2C057AF93 ,  2C057AG14 ,  2C057AG42 ,  2C057AG44 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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