外部共振器型波長可変光源

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：荒船博司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-113739
公開番号（公開出願番号）：特開平11-307864
出願日： 1998年04月23日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：

【要約】【課題】外部共振器型波長可変光源において、機構的バックラッシュの発生をなくして、波長可変の精度を向上させる。【解決手段】一方の端面に無反射膜1aが施された光増幅器1と、光増幅器1の無反射膜1a側の射出光軸上に配置され波長選択性を有する回折格子2と、回折格子2の反射光軸上に配置され回折格子2からの反射光を反射する反射器3と、回折格子2の反射光軸に対する反射器3の角度を変化させて発振する光の波長を可変する波長可変機構100Aとを備えた外部共振器型波長可変光源である。波長可変機構100Aは、保持した反射器3の回折格子2反射光軸に対する角度を変化させる波長可変制御手段20Aとしてのバイモルフ型ピエゾ素子と、バイモルフ型ピエゾ素子に印可する電圧を制御して発振する光の波長を可変する波長可変駆動回路30とを備えている。

請求項（抜粋）：

一方の端面に無反射膜が施された光増幅器と、前記光増幅器の無反射膜側の射出光軸上に配置され、波長選択性を有する回折格子と、前記回折格子の反射光軸上に配置され、前記回折格子からの反射光を反射する反射器と、前記回折格子の反射光軸に対する前記反射器の角度を変化させて発振する光の波長を可変する波長可変機構と、を備えた外部共振器型波長可変光源において、前記波長可変機構は、少なくとも一部が弾性体から構成され、前記反射器を支持する固定手段と、前記固定手段の弾性体部を変形させて、前記回折格子の反射光軸に対する反射器の角度を変化させる変位手段と、前記変位手段を制御して前記反射器の角度変化を調整し、発振する光の波長を可変する変位制御手段と、を備えたことを特徴とする外部共振器型波長可変光源。

引用特許：

審査官引用 (11件)

レーザー光源
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-172865 出願人：株式会社日立製作所, 日立金属株式会社
特開平3-048480
可変波長光源装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-147182 出願人：アンリツ株式会社

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