特許
J-GLOBAL ID:200903047313922229

放出ガス測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 瀧野 秀雄 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-047504
公開番号(公開出願番号):特開2001-235388
出願日: 2000年02月24日
公開日(公表日): 2001年08月31日
要約:
【要約】【課題】 検査物の放出ガス量を短時間で正確に測定できるようにした放出ガス測定装置を提供する。【解決手段】 マスタチャンバと、検査物を収納するチャンバと、前記マスタチャンバに気体を放出する気体放出手段と、前記マスタチャンバと前記チャンバとの差圧を測定する差圧計と、前記検査物の入出力孔の密封を開放して前記チャンバに収納し、前記マスタチャンバおよび前記チャンバの空気を排気して密封し、前記差圧計の差圧値が0になるよう前記気体放出手段より放出させ、放出された気体量に前記検査物の全表面積に対する外表面積の比を乗算した値を放出ガス量として記録する制御部と、を備える。
請求項(抜粋):
マスタチャンバと、検査物を収納するチャンバと、前記マスタチャンバに気体を放出する気体放出手段と、前記マスタチャンバと前記チャンバとの差圧を測定する差圧計と、前記検査物の入出力孔の密封を開放して前記チャンバに収納し、前記マスタチャンバおよび前記チャンバの空気を排気して密封し、前記差圧計の差圧値が0になるよう前記気体放出手段より放出させ、放出された気体量に前記検査物の全表面積に対する外表面積の比を乗算した値を放出ガス量として記録する制御部と、を備えたことを特徴とする放出ガス測定装置。
IPC (3件):
G01M 3/26 ,  G01L 13/00 ,  G01L 19/08
FI (3件):
G01M 3/26 P ,  G01L 13/00 Z ,  G01L 19/08
Fターム (13件):
2F055AA11 ,  2F055BB05 ,  2F055CC60 ,  2F055DD20 ,  2F055EE40 ,  2F055FF28 ,  2F055FF49 ,  2F055GG03 ,  2F055HH06 ,  2G067AA44 ,  2G067BB28 ,  2G067DD03 ,  2G067EE09
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • リーク量測定装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-103178   出願人:小川技研株式会社, トヨタ自動車株式会社

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