特許
J-GLOBAL ID：200903047317535017
マグネトロンスパッタリング用の振動磁石を有する円筒形のターゲット
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (5件)：
青木 篤
, 鶴田 準一
, 島田 哲郎
, 倉地 保幸
, 下道 晶久
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-519384
公開番号（公開出願番号）：特表2008-505250
出願日： 2005年06月30日
公開日（公表日）： 2008年02月21日
要約：
いくつかの実施例においては、本発明は、略円筒形のターゲットと、スパッタリング工程において、ターゲットをその軸を中心として回転させる手段と、ターゲットの外部においてこれに隣接してプラズマを閉じ込める磁界を生成するべくターゲット内に保持されている細長い磁石と、ターゲット内において回転に抗して磁石を支持するフレーム構造と、磁石を同期することなしにターゲット内においてその軸方向に振動させることにより、その長さに沿って略均一なターゲットの利用を促進するパワートレインと、を有する基板上にターゲット材料をスパッタリングする際に使用される円筒形の陰極ターゲットアセンブリと、その使用法と、を含んでいる。いくつかの実施例においては、磁石は、ターゲットの回転に応答して振動している。
請求項（抜粋）：
基板上にターゲット材料をスパッタリングする際に使用する陰極ターゲットアセンブリにおいて、
略円筒形のターゲットと、
スパッタリング工程において、前記ターゲットをその軸を中心として回転させる手段と、
前記ターゲットの外部においてこれに隣接してプラズマを閉じ込める磁界を生成するべく前記ターゲット内に保持されている細長い磁石と、
前記ターゲット内において回転に抗して前記磁石を支持するフレーム構造と、
前記磁石を実質的に同期することなしに前記ターゲット内においてその軸方向に振動させることにより、その長さに沿って略均一なターゲットの利用を促進するパワートレインと、
を備えるターゲットアセンブリ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
4K029DC13
, 4K029DC25
, 4K029DC45
, 4K029DC46
