ダイヤモンドの気相合成方法及び装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宇井正一 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-200605
公開番号（公開出願番号）：特開平7-053298
出願日： 1993年08月12日
公開日（公表日）： 1995年02月28日
要約：

【要約】【目的】生産性の高い、低コストのダイヤモンド膜(特にスピーカなどの振動板)の製膜方法及び装置を提供すること。【構成】プラズマジェットCVD法を採用すると製膜速度が高い。基板としてダイヤモンドとの密着性の悪い材料を用いると、冷却時にダイヤモンド膜が自動的に剥離する。ガス利用効率が低いので再循環させる。その際陽極点付近のガス流速を5m/s以上にすると炭素が付着しない。

請求項（抜粋）：

所定の形状の基板を準備する工程、DCプラズマジェットCVD法で基板上にダイヤモンド膜を堆積させる工程、製膜後基板温度が下がる過程でダイヤモンドと基板の熱膨張率の差によりダイヤモンド膜が自動的に基板から剥離される工程を含むことを特徴とするダイヤモンド成形膜の製造方法。

IPC (5件)：

C30B 29/04 , C01B 31/06 , C30B 25/18 , H04R 31/00 , H04R 7/02

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-037693
特開平4-228497
鏡面を有するダイヤモンド膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-249919 出願人：株式会社神戸製鋼所

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