特許
J-GLOBAL ID:200903047369429002

ビーム回転機能付ホモジナイザ装置及びこれを用いたレーザ加工装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 治部 卓 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-156303
公開番号(公開出願番号):特開平11-352420
出願日: 1998年06月04日
公開日(公表日): 1999年12月24日
要約:
【要約】【課題】 ビームホモジナイザを回転させることなくして、均一化(ホモジナイズ)ビームの特性を維持したまま均一化ビームを回転させ得るビーム回転機能付ホモジナイザ装置、及びこれを用いたレーザ加工装置を提供すること。【解決手段】 ビーム回転機能付ホモジナイザ装置3は、ビームホモジナイザ9と、このホモジナイザ9から出射されたビームB1をビーム軸C1(C2)のまわりで回転させるビーム回転装置10,11とを有する。レーザ加工装置1では、レーザ発振器2からビーム断面内の方向により異なる特性を有するビームB0が出射されてビームホモジナイザ装置3に入射される。ホモジナイザ装置3は、その出射ビームB2eが被加工物6上でホモジナイズされるように構成されている。
請求項(抜粋):
ビームホモジナイザ素子と、ホモジナイザ素子から出射されたビームをビーム軸のまわりで回転させるビーム回転手段とを有するビーム回転機能付ホモジナイザ装置。
IPC (3件):
G02B 26/00 ,  H01L 21/20 ,  H01L 21/268
FI (3件):
G02B 26/00 ,  H01L 21/20 ,  H01L 21/268 J
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平1-152411
  • ビームホモジナイザ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-309243   出願人:住友重機械工業株式会社

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