特許
J-GLOBAL ID:200903047379735438

基板又はシート表面洗浄装置に使用される粘着テープの切断方法と、その切断装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 湯浅 正彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-345966
公開番号(公開出願番号):特開2001-162580
出願日: 1999年12月06日
公開日(公表日): 2001年06月19日
要約:
【要約】【課題】基板又はシートへの粘着剤塊の付着を防止するため、基板又はシート表面洗浄装置に使用される粘着テープの使用済み粘着テープの切断により発生する粘着剤塊等を完全に除去すると共に、その作業を確実に、しかも円滑且つ迅速に行おうとするものである。【解決手段】粘着テープ(1)の切断予定部(5)の粘着剤(3)側に、弱粘着性もしくは粘着性を有しない除去テープ(6)を切断予定部(5)に沿って貼着し、該除去テープ(6)とともに切断予定部(5)を切断した上、除去テープ(6)を引き剥がすことで、粘着テープを構成する粘着剤の切断時に形成される粘着剤塊等の形成が抑制されるとともに、その形成されたものも除去テープに吸着されるので、更新された粘着テープの使用による粘着剤塊の基板又はシートに対する付着を防止できる。
請求項(抜粋):
基板又はシート表面洗浄装置において使用済みとなった粘着テープの切断予定部の粘着剤側に、弱粘着性もしくは粘着性を有しない除去テープを切断予定部に沿って貼着し、該除去テープとともに切断予定部を切断した上、除去テープを引き剥がしてなる基板又はシート表面洗浄装置に使用される粘着テープの切断方法。
Fターム (2件):
3C027DD01 ,  3C027DD08
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 基板切断方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-072500   出願人:キヤノン株式会社
  • 特開平2-053593
  • 特開平2-053593

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