特許
J-GLOBAL ID：200903047381548351
磁気ヘッドスライダとその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-042609
公開番号（公開出願番号）：特開平9-231539
出願日： 1996年02月29日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：
【要約】【課題】 磁気ヘッドの空気軸受け面(ABS面)に形成した保護膜(下地膜)を可視化することにより、保護膜の有無を容易に判別する。【解決手段】 ヘッドスライダ1のABS面2に可視化した保護膜を備える。この保護膜は二層構造の膜であって、下地膜5としてシリコンを10〜50オングストロームの厚さに成膜し、その上に保護層としてアモルファス水素添加カーボンから成るDLC(ダイヤモンド・ライク・カーボン)膜6を20〜100オングストロームの厚さに成膜する。この下地膜5は白濁しているため、保護膜全体が可視化され、保護膜の剥離などの欠陥を容易に発見することができる。これにより、高品質のヘッドスライダを提供することができる。
請求項（抜粋）：
磁気ヘッドスライダの空気軸受け面に可視化した保護膜を有することを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
IPC (3件)：
G11B 5/60
, G11B 21/21 101
, G11B 21/21
G11B 5/60 Z
, G11B 21/21 101 P
, G11B 21/21 101 K
