特許
J-GLOBAL ID：200903047395579519
実装ボード検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-112566
公開番号（公開出願番号）：特開平6-324124
出願日： 1993年05月14日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：
【要約】【目的】 高密度の実装ボードの検査において正確な信号を測定する。【構成】 センサー素子2とレーザ光源6とレーザ光源から出力される光を分離するビームスプリッタ4とビームスプリッタから受けた光をセンサー素子に入射するレーザ光走査部5とセンサー素子から反射レーザ光走査部及びビームスプリッタを通る電気信号により偏光した光を受け信号に変える受光部7とその信号を実際に測定している信号に変える信号処理機構9を設ける。センサー素子2は、電気光学物体に上面に透明金属層、下面に反射板と光誘電性エラストマーまたは加圧導電ゴムの2層構造からなる突起を複数もち、被測定対象物に密接して測定する。
請求項（抜粋）：
上面に透明金属層、下面に反射板及び高誘電性エラストマーまたは加圧導電ゴムが設けられている電気光学効果物体から成るセンサー素子と、レーザ光源と、前記レーザ光源からのレーザ光を前記センサー素子の内部に通過ないしは前記反射板に反射して通過する様にレーザ光を入射させる光学手段と、前記センサー素子の前記透明金属層と前記反射板間に生じる電位差により影響を受けた電気光学物体の中を通過ないしは反射して通過することにより変調を受けた被変調レーザ光の変調度を検出する検出手段とを備えることを特徴とする実装ボード検査装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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